近日，合肥市科技局發(fā)布了2022年度第一批市科技重大專(zhuān)項“揭榜掛帥”項目立項名單（共9項），合肥物質(zhì)院安光所光學(xué)遙感中心科研團隊申報的“集成電路高精密套刻檢測光學(xué)系統研制及應用”項目成功上榜，獲最高資助經(jīng)費500萬(wàn)元。 

　　項目團隊聚焦半導體前道檢測的關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，瞄準該領(lǐng)域骨干企業(yè)急需的高精密光學(xué)測量系統核心技術(shù)需求，發(fā)揮多學(xué)科交叉及工程設計優(yōu)勢，針對照明、成像和測焦三大模塊技術(shù)指標和任務(wù)，開(kāi)展套刻量測設備中核心光學(xué)系統的研制，首次承擔“集成電路高精密套刻測量光學(xué)系統研制及應用”揭榜掛帥項目。 

　　據悉，合肥市“揭榜掛帥”項目是針對科技發(fā)展戰略重大問(wèn)題和基礎研究、核心技術(shù)薄弱環(huán)節，采取的科技創(chuàng )新舉措，有利于激發(fā)科技創(chuàng )新主體和廣大科技人員的創(chuàng )造潛能和創(chuàng )新效能，從而提高科技攻關(guān)的質(zhì)量和效率。